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項目名稱：8英寸MEMS晶圓生產線之多晶硅、硅刻蝕機
招標項目編號：0709-244035614012
招標范圍：設備名稱：多晶硅、硅刻蝕機設備數(shù)量：1臺設備用途：本設備主要用于8英寸MEMS器件各種產品生產中單晶硅淺腔、多晶硅薄膜的刻蝕加工。
招標機構：中國儀器進出口集團有限公司
招標人：安徽華鑫微納集成電路有限公司
開標時間：2024-04-25 09:30
公示開始時間：2024-05-15 15:50
評標公示截止時間：2024-05-16 14:00
中標候選人名單：
| 候選人排名 | 投標商名稱 | 制造商 | 制造商國別及地區(qū) |
|---|---|---|---|
| 1 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司 | 中國 |
| 2 | 江蘇魯汶儀器有限公司 | 江蘇魯汶儀器股份有限公司 | 中國 |
| 3 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 中國 |