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項目名稱：8英寸MEMS晶圓生產線之氧化硅、氮化硅刻蝕機
招標項目編號：0709-244035614007
招標范圍：設備名稱：氧化硅、氮化硅刻蝕機設備數量：3臺設備用途：氧化硅、氮化硅刻蝕機主要用于對8英寸MEMS工藝中氮化硅、氧化硅薄膜的刻蝕加工。
招標機構：中國儀器進出口集團有限公司
招標人：安徽華鑫微納集成電路有限公司
開標時間：2024-04-25 09:30
公示開始時間：2024-05-14 13:58
評標公示截止時間：2024-05-15 14:00
中標候選人名單：
| 候選人排名 | 投標商名稱 | 制造商 | 制造商國別及地區 |
|---|---|---|---|
| 1 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 合肥英仕博精密裝備有限公司 | 中國 |
| 2 | 北京北方華創微電子裝備有限公司 | 北京北方華創微電子裝備有限公司 | 中國 |
| 3 | Tokyo Electron Limited | Tokyo Electron Limited | 日本 |