1、招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況:品目1
設(shè)備名稱：氧化清洗濕臺(tái)
設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)
設(shè)備用途：本設(shè)備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過(guò)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到清洗晶圓表面的目的。
品目2
設(shè)備名稱：標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺(tái)
設(shè)備數(shù)量：2臺(tái)
設(shè)備用途：本設(shè)備適用于八寸晶圓濺射前清洗、氧化清洗、鍵合工藝，采用H2SO4、H2O2、HF、氨水和鹽酸溶液通過(guò)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到清洗晶圓表面的目的。
品目3
設(shè)備名稱：硫酸去膠濕臺(tái)
設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)
設(shè)備用途：本設(shè)備適用于八寸晶圓光刻膠去除清洗工藝，采用H2SO4、H2O2和NH4OH溶液通過(guò)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到光刻膠去除、清洗的作用。
品目4
設(shè)備名稱：有機(jī)去膠濕臺(tái)
設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)
設(shè)備用途：本設(shè)備適用于八寸晶圓聚合物去除工藝，采用EKC溶液和NMP溶液通過(guò)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到去除聚合物和光刻膠的目的。
品目5
設(shè)備名稱：BOE濕臺(tái)
設(shè)備數(shù)量：1臺(tái)
設(shè)備用途：本設(shè)備適用于八寸晶圓二氧化硅腐蝕、氮化硅腐蝕工藝，采用HF、NH4F、H3PO4溶液通過(guò)化學(xué)反應(yīng)達(dá)到腐蝕二氧化硅和氮化硅的目的。
資金到位或資金來(lái)源落實(shí)情況:已到位
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說(shuō)明:已具備
2、招標(biāo)內(nèi)容
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào):0664-2440SUMECF20/02
招標(biāo)項(xiàng)目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之氧化清洗濕臺(tái)、標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺(tái)、硫酸去膠濕臺(tái)、有機(jī)去膠濕臺(tái)、BOE濕臺(tái)
項(xiàng)目實(shí)施地點(diǎn):中國(guó)安徽省
招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
| 序號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 數(shù)量 | 簡(jiǎn)要技術(shù)規(guī)格 | 備注 |
| 1 | 氧化清洗濕臺(tái) | 1 | 氣壓控制：具有氮?dú)狻DA、排風(fēng)具備壓力監(jiān)控功能。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
| 2 | 標(biāo)準(zhǔn)清洗濕臺(tái) | 2 | 水氣槍：配有進(jìn)口PP水氣槍。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
| 3 | 硫酸去膠濕臺(tái) | 1 | 測(cè)漏感知：設(shè)備底部配有防漏盤和漏液傳感器檢測(cè)漏液，防漏盤上的漏液能通過(guò)排放端口排走。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
| 4 | 有機(jī)去膠濕臺(tái) | 1 | 移門：有機(jī)玻璃移門，配有檢測(cè)門開(kāi)傳感器，具有聯(lián)動(dòng)互鎖功能。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
| 5 | BOE濕臺(tái) | 1 | 定位方式：底部附萬(wàn)向轉(zhuǎn)輪與活動(dòng)式調(diào)整腳。其他參數(shù)詳見(jiàn)第八章 | 無(wú) |
3、投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī):① 投標(biāo)人如為境內(nèi)企業(yè)，提供企業(yè)法人營(yíng)業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書，如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊(cè)登記證。
② 投標(biāo)方可以是設(shè)備制造廠商或設(shè)備再制造廠商，也可以是設(shè)備授權(quán)代理商，代理商需具有設(shè)備制造廠商的有效授權(quán)書。
③ 投標(biāo)人開(kāi)戶行開(kāi)具的，出具日期在開(kāi)標(biāo)前三個(gè)月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復(fù)印件。
④ 投標(biāo)人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力（提供承諾書，格式自理）。
⑤ 單位負(fù)責(zé)人授權(quán)書原件。
是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
4、招標(biāo)文件的獲取
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)開(kāi)始時(shí)間:2024-04-29
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)結(jié)束時(shí)間:2024-05-09
是否在線售賣標(biāo)書:否
獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場(chǎng)領(lǐng)購(gòu)
招標(biāo)文件領(lǐng)購(gòu)地點(diǎn)：蘇美達(dá)大廈8樓西側(cè)（南京市長(zhǎng)江路198號(hào)）
招標(biāo)文件售價(jià):￥3000/$400
5、投標(biāo)文件的遞交
投標(biāo)截止時(shí)間（開(kāi)標(biāo)時(shí)間）:2024-05-22 10:00
投標(biāo)文件送達(dá)地點(diǎn):蘇美達(dá)大廈輔樓3樓開(kāi)標(biāo)室
開(kāi)標(biāo)地點(diǎn):蘇美達(dá)大廈輔樓3樓開(kāi)標(biāo)室
6、投標(biāo)人在投標(biāo)前應(yīng)在必聯(lián)網(wǎng)（https://www.ebnew.com）或機(jī)電產(chǎn)品招標(biāo)投標(biāo)電子交易平臺(tái)（https://www.chinabidding.com）完成注冊(cè)及信息核驗(yàn)。評(píng)標(biāo)結(jié)果將在必聯(lián)網(wǎng)和中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)公示。
7、聯(lián)系方式
招標(biāo)人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市東海大道888號(hào)
聯(lián)系人:陳遜頻
聯(lián)系方式:13906020315
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):蘇美達(dá)國(guó)際技術(shù)貿(mào)易有限公司
地址:南京長(zhǎng)江路198號(hào)11樓
聯(lián)系人:江岳峰/朱志云/周翠
聯(lián)系方式:18551719296、025-84531057
8、匯款方式:
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(人民幣):
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)開(kāi)戶銀行(美元):
賬號(hào)(人民幣):
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