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山東大學全反射X射線熒光光譜儀單一來源

   日期:2022-12-09     瀏覽:0    

  根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定,現(xiàn)對山東大學全反射X射線熒光光譜儀進行其他招標,歡迎合格的供應(yīng)商前來投標。

項目名稱:山東大學全反射X射線熒光光譜儀

項目編號:SDJXHF20220252-Z098

項目聯(lián)系方式:

項目聯(lián)系人:王老師

項目聯(lián)系電話:0531-88369797

采購單位聯(lián)系方式:

采購單位:山東大學

采購單位地址:山東省濟南市山大南路27號

采購單位聯(lián)系方式:魯老師 0531-88363689

一、采購項目內(nèi)容

在半導體材料及工藝研究中,全反射X射線熒光光譜儀可用于晶片表面及近表層分析,其極低的檢出限、極少的用樣量、極高的準確度,能夠測量所有晶圓工藝中的晶圓污染,檢測元素從Na~U,從而控制外延及器件生產(chǎn)的質(zhì)量和成品率。

經(jīng)用戶調(diào)研,日本Rigaku公司的TXRF 3760能夠檢測8英寸高達200mm的晶圓、具有專利的XYθ樣品臺系統(tǒng)、真空晶圓機器人傳送系統(tǒng)和掃描軟件系統(tǒng)、可提供最大35KV的高壓與最大300mA的電流輸出,但最大功率輸出為9KW、最低偵測極限 (LLD)達到W-Ma Al≦5.0x1011等,成為唯一一款應(yīng)用于半導體晶圓領(lǐng)域的全反射X射線熒光光譜儀,因此,采取單一來源方式采購。指定代理公司為南京木木西里科技有限公司。

擬定的唯一供應(yīng)商名稱:南京木木西里科技有限公司

二、開標時間:2022年12月15日 16:00

三、其它補充事宜

報名流程:

登錄山東大學招標采購管理中心網(wǎng)站(http://www.cgw.sdu.edu.cn/)進行供應(yīng)商注冊,注冊完成我中心審核通過后,在報名截止時間前再次登錄系統(tǒng)在線報名本項目,報名審核成功后自助下載采購文件。

四、預(yù)算金額:

預(yù)算金額:700.0000000 萬元(人民幣)

ccgp.g

特別提示:本信息由相關(guān)企業(yè)自行提供,真實性未證實,僅供參考。請謹慎采用,風險自負。


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