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項目名稱：中國科學院光電技術研究所掩模雙面清洗系統采購項目

招標項目編號：0729-244OIT172352

招標范圍：第1包：掩模雙面清洗系統，1臺； 預算金額：3400萬元人民幣，最高限價：3170萬元人民幣。

招標機構：東方國際招標有限責任公司

招標人：中國科學院光電技術研究所

開標時間：2025-01-24 09:30

公示時間：2025-01-24 17:32 - 2025-01-27 23:59

中標結果公告時間：2025-02-07 15:03

中標人：SUSS MicroTec Lithography GmbH

制造商：SUSS MicroTec Solutions GmbH & Co. KG

制造商國家或地區：德國