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項目名稱：低應力高致密薄膜沉積設備（ICPCVD）

招標項目編號：0664-2440SUMECK10/02

招標范圍：低應力高致密薄膜沉積設備（ICPCVD）

招標機構：蘇美達國際技術貿易有限公司

招標人：蘇州第三代半導體技術國創中心

開標時間：2024-10-22 14:00

公示時間：2024-10-31 14:16 - 2024-11-04 23:59

中標結果公告時間：2024-11-05 18:55

中標人：Shintec Equipment Co., Limited

制造商：Oxford Instruments Nanotechnology Tools Limited， trading as Oxford Instruments Plasma Technology

制造商國家或地區：英國